准分子激光是什么激光

准分子激光是一种特殊类型的紫外激光，波长范围在193至351纳米之间。这种激光由惰性气体和卤素气体混合物产生，如氟化氩(ArF)激光波长193纳米，氟化氪(KrF)激光波长248纳米。准分子激光在医疗领域应用广泛，包括近视矫正手术(LASIK)、白内障治疗和皮肤疾病治疗。工业上，准分子激光用于精密微加工、半导体制造和光学元件雕刻。这种激光特点是脉冲能量高，脉冲持续时间极短，可达纳秒级别，热影响区小，适合高精度加工。

准分子激光与其他激光最大区别在于工作介质。普通激光使用固体、液体或气体作为增益介质，而准分子激光依靠不稳定二聚分子形成。激光产生过程中，气体混合物受电激发形成准分子，激发态寿命极短，仅10-13秒。这种特性使准分子激光具有独特优势：高能量密度、高重复频率和极窄脉宽。医疗设备中的准分子激光系统每秒可发射100-200个脉冲，每个脉冲能量可达数百毫焦耳，确保手术精确性。半导体工业利用准分子激光进行光刻工艺，线宽可达10纳米级别。