中国有光刻机吗是哪家公司的

中国确实拥有光刻机技术，上海微电子装备有限公司(SMEE)是国内领先的光刻机制造商。该公司生产的光刻机覆盖了从曝光光源到工作台的全套系统，包括接触式光刻机、接近式光刻机和投影式光刻机等多种类型。SMEE的光刻机广泛应用于集成电路、MEMS、光学器件等制造领域，其产品线覆盖了365nm到436nm的光谱范围，分辨率可达微米级别，满足国内中低端芯片制造需求。

中国光刻机产业还包括华卓精科、北方华创等企业，这些公司在光刻机关键部件领域有所突破。华卓精科专注于光刻机双工件台系统研发，北方华则提供光刻机所需的真空部件和精密运动控制系统。中科院光电技术研究所也在积极研发深紫外光刻技术，已取得阶段性成果。这些企业共同构成了中国光刻机产业链，正在逐步提升国产光刻机的技术水平和市场竞争力。