光刻机有多大

光刻机体积庞大，ASML的EUV系统占据整个洁净室空间，设备高约4米，长宽各超过10米，相当于一辆小型巴士大小。这类机器重达180吨，需要30辆货车运输。安装过程耗时数周，需要专业团队协作完成。尼康的NSR-S621D型号也相当壮观，工作台面积达15平方米，相当于3张乒乓球桌并排摆放。光刻机的镜头系统单独存放，运输时需要特制防震箱，确保精度不受影响。

光刻机内部结构精密复杂，包含超过10万个零件，其中光学镜片多达400片，每片误差控制在纳米级。冷却系统管道总长超过5公里，相当于标准泳池长度的25倍。工作时，机器每小时消耗电力达1000度，足够一个普通家庭使用40天。真空腔体体积达3立方米，内部气压仅为大气压的十亿分之一。维护保养需要专业工具，仅校准过程就使用20多种精密仪器，操作人员需经过6个月培训才能上岗。