12英寸硅外延片是什么型号

12英寸硅外延片型号主要为300mm规格，属于半导体行业主流尺寸。这种外延片直径300毫米，厚度约775微米，广泛应用于集成电路制造。常见型号包括P型、N型高阻外延片，电阻率范围1-100欧姆·厘米。市场上有多种品牌供应，如信越、SUMCO、环球晶圆等，型号代码包含电阻率、厚度、掺杂类型等参数。这些外延片是制造CPU、存储芯片等先进工艺的关键基础材料。

12英寸硅外延片型号还根据应用领域有特殊分类。功率器件用的外延片厚度可达150微米，耐压值超过1200伏。射频器件外延片需要特殊缓冲层结构，型号如HRF系列。碳含量控制在5×10¹⁵原子/立方厘米以下，以减少缺陷密度。MEMS传感器用外延片表面粗糙度需小于0.2纳米。不同厂商型号命名规则各异，但都遵循国际半导体设备材料组织(SEMI)标准规范。