光刻机核心零件是什么材质的

光刻机核心零件多采用特殊合金与复合材料制造。镜头系统使用高纯度石英玻璃和氟化钙晶体，确保光线精确传输。工件台由碳化硅材料打造，具备极低热膨胀系数。精密轴承采用陶瓷球混合钢制结构，减少摩擦损耗。光学镜片镀有多层纳米级薄膜，增强反射与透射性能。真空腔体由钛合金制成，保证密封性与耐腐蚀性。这些材料共同确保光刻机在纳米级精度下稳定运行。

光刻机关键部件还依赖特种陶瓷与高分子材料。浸没式系统使用超纯石英玻璃，水滴接触角小于5度。光源模块采用氟化钙与氟化锂晶体组合，透光率超过99.9%。驱动系统应用氮化硅陶瓷，硬度达到1800维氏。激光器腔体由铜铬合金制造，散热效率提高40%。密封件使用氟橡胶，耐温范围从-50度到200度。这些材料选择确保光刻机在极端工艺条件下保持高精度与长寿命。