mems材料以什么为主

MEMS材料主要采用硅基材料，包括单晶硅、多晶硅和二氧化硅。硅材料具有优异的机械性能和电学特性，适合制造微传感器和执行器。实际应用中，硅基MEMS器件广泛应用于汽车安全气囊加速度计、压力传感器和陀螺仪。硅材料成本低、加工工艺成熟，能实现微米级精度加工，满足工业需求。金属如铝、金和铜也常用于MEMS中的导电层和电极，提高器件性能。

陶瓷材料如氮化硅和氧化铝在MEMS中用于绝缘层和结构支撑，提供高温稳定性。聚合物材料如SU-8和聚二甲基硅氧烷(PDMS)适用于柔性MEMS器件，可穿戴健康监测设备大量使用这类材料。碳基材料如石墨烯和碳纳米管因其优异的导电性和机械强度，被用于开发新型MEMS传感器。这些材料组合使用，满足不同应用场景的特殊需求。