时间:09-15人气:11作者:草莓不美
上海微电子装备有限公司是中国领先的光刻机制造商,专注于半导体制造设备研发。公司成立于2002年,总部位于上海张江高科技园区。上海微电子拥有超过2000项专利,其光刻机技术覆盖从365纳米到7纳米的多个波段。客户包括中芯国际、华虹宏力等国内知名半导体企业,产品已销往全球10多个国家和地区。公司研发团队规模超过3000人,研发投入占年营收的25%以上。
上海微电子在光刻机领域实现了多项技术突破。2018年,公司推出SSA800/10W光刻机,分辨率达到65纳米。2020年,其SSA600/20W型号通过客户验收,标志着中国在高端光刻设备领域取得重要进展。公司产品广泛应用于功率器件、MEMS、先进封装等多个领域,每年交付设备超过50台。上海微电子与上海交通大学、复旦大学等高校建立了5个联合实验室,持续推动技术创新和人才培养。
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