光刻机有哪几个国家

全球光刻机市场主要由荷兰、日本和美国三国主导。荷兰的AS公司占据高端市场，其EUV光刻机精度达到纳米级别，台积电、三星等芯片大厂都采购该设备。日本东京电子提供DUV光刻机，适用于成熟制程芯片生产，年产量超过300台。美国应用材料公司则专注于光刻相关材料与技术服务，支持全球超过50家芯片制造商。这些国家的技术专利总和达到全球光刻领域专利的80以上。

中国、韩国和德国也在光刻领域有所建树。上海微电子研发的SSA800/10W光刻机可用于90纳米制程，国内多家晶圆厂已投入使用。韩国三星电子自主研发的NXT系列光刻机已用于7纳米芯片生产。德国蔡司公司提供光刻镜头，精度误差小于0.1纳米，全球前十大芯片厂商中有8家采用其光学系统。这些国家通过技术合作与自主创新，逐步提升在全球光刻市场的影响力。