国家扶持的光刻机是哪个公司

中国扶持的光刻机主要企业是上海微电子装备有限公司。这家公司承担了国家"02专项"中的光刻机研发任务，已成功研发出90纳米光刻机，并在28纳米光刻机技术上取得突破。上海微电子与中科院、清华大学等机构合作，建立了完整的光刻机研发体系，获得了国家数十亿元资金支持。该公司生产的光刻机已在国内多条芯片生产线上投入使用，打破了国外企业垄断局面。

光刻机产业链中，国家还扶持了北京华卓精科、中科院光电院等企业。华卓精科专注于光刻机双工件台系统研发，其产品已应用于上海微电子的设备中。中科院光电院则负责光刻机光源系统研发，成功研制出193纳米深紫外光源。这些企业形成了完整的国产光刻机研发体系，共同推进中国半导体装备自主化进程。