扫描电镜的操作过程

扫描电镜操作开始前需准备样品，确保导电性良好。将样品固定在样品台上，使用导电胶带或专用夹具。放入样品室前需确认真空系统正常，真空度达到要求后开启电子枪。加速电压选择根据样品特性调整，一般在500V到30kV之间。调整物镜电流使样品表面聚焦清晰，通过二次电子或背散射电子信号成像。操作过程中需保持样品稳定，避免振动干扰成像质量。

扫描电镜使用过程中需定期校准仪器性能。每周检查灯丝电流稳定性，每月清洁电子枪和光路系统。更换样品时需等待真空恢复至工作状态，避免污染镜筒。图像采集时调整工作距离和探测器角度以获得最佳对比度。高倍率观察时需降低加速电压减少样品损伤。操作结束后关闭电子枪，待真空系统稳定后再关闭总电源，延长设备使用寿命。