真空镀膜机的操作方法

真空镀膜机操作前需检查真空泵油位，确保系统密封良好。打开电源后，先启动机械泵抽预真空至5Pa，再开启分子泵达到高真空状态。镀膜材料放入坩埚后，设置蒸发温度和速率。镀膜过程中监控真空度维持在10⁻³Pa范围，基片温度控制在150-200℃。完成镀膜后，先关闭蒸发源，待系统冷却至室温后关闭真空泵，最后充入氮气取出样品。

操作时需佩戴防护眼镜和手套，避免高温部件烫伤。定期清理真空腔内残留材料，每工作200小时检查分子泵轴承状态。镀膜厚度可通过调整蒸发时间和速率控制，一般每分钟沉积约50纳米。不同材料需选择合适的蒸发温度，铝蒸发温度约1200℃，而铬则需要约1800℃。操作记录表应详细记录每次镀膜的参数，便于后续优化工艺。