安芯半导体光刻机是哪家上市公司

安芯半导体光刻机属于上海微电子装备有限公司生产。这家公司是中国领先的半导体装备制造商，成立于2002年，总部位于上海。上海微电子研发的光刻机技术达到90纳米制程，产品广泛应用于国内晶圆厂。公司员工超过3000人，研发投入占营收比例达到25%。光刻机作为半导体制造核心设备，一台售价约5000万元人民币，单台重量达30吨。

安芯半导体光刻机的核心零部件由多家上市公司供应。北方华创提供真空系统，晶盛机电负责精密部件加工，中微公司刻蚀设备与之配套使用。这些上市公司与上海微电子形成稳定供应链关系，共同推动国产光刻机技术进步。2022年数据显示，国产光刻机在国内市场占有率提升至15%，预计未来5年将达到30。