时间:09-18人气:27作者:夏夜星辰
半导体掺杂浓度范围很广,从每立方厘米10的14次方到10的20次方不等。硅晶体管中,源漏区掺杂浓度约为10的19次方,而沟道区域约为10的17次方。发光二极管的p型掺杂浓度常在10的18次方左右,n型则更高。太阳能电池的基区掺杂浓度通常在10的16次方,发射区则达到10的19次方。高功率器件需要更精确的掺杂控制,误差必须小于5%。
掺杂浓度直接影响半导体电学特性。CMOS工艺中,阈值电压调整通过改变栅极下方的掺杂浓度实现,约10到100纳米深。DRAM电容的掺杂浓度达到10的20次方,确保足够的电荷存储能力。射频器件需要梯度掺杂,从10的16次方逐渐增加到10的19次方。功率MOSFET的漂移区掺杂浓度较低,约10的15次方,以承受高电压。量子点结构中,掺杂浓度精确控制在每立方厘米10的12次方以下。
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