中国能生产各型号的光刻胶了吗

时间:09-17人气:22作者:皇者何畏

中国光刻胶产业已取得显著进步,能够生产部分型号的光刻胶。国内企业已实现g线、i线光刻胶的量产,覆盖90-280纳米工艺节点。上海、江苏、北京等地建立了多个光刻胶生产基地,年产能超过5000吨。南大光电、晶瑞股份等企业已进入半导体供应链,供应部分晶圆厂。先进制程光刻胶如KrF、ArF仍依赖进口,但研发进展迅速,部分样品已通过测试。

光刻胶国产化进程加速,覆盖面板、LED等多个领域。北京、深圳的研究团队开发出显示面板用彩色光刻胶,满足8.5代线生产需求。国内企业还生产PCB用光刻胶,年销量超过3亿平方米。紫外光刻胶、电子束光刻胶等特种产品已有商业化应用。政府投入资金支持光刻胶研发,建立了5个国家级重点实验室,推动技术突破。

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