sem电镜扫描操作方法是什么

SEM电镜扫描操作开始前需确保样品导电性，金属样品可直接放置，非金属样品需喷金处理。开机顺序严格遵循先开冷却水，再开真空系统，最后开启电子枪。调节加速电压通常为5-30kV，根据样品特性选择合适倍率。样品台调整X、Y、Z轴位置，确保物镜与样品距离适中。图像采集时调节亮度与对比度，使用慢扫描模式获得高清晰度图像。

日常维护对设备寿命至关重要。每周检查真空泵油位，每月清洁电子枪组件，每季度校准探测器灵敏度。样品更换前必须确认真空释放，避免空气进入损坏镜筒。长时间停机应按规范关闭各系统，保持设备处于待机状态。操作环境需控制温度在20-25℃，湿度低于60%，确保仪器稳定运行。