扫描电镜测试方法

扫描电镜测试方法样品制备是关键步骤。导电样品可直接放入样品室，非导电样品需喷金或碳处理。测试时样品固定在样品台上，调整工作距离和加速电压。高真空模式下获得清晰图像，低真空模式适合观察含水样品。能谱分析配合使用可确定元素组成。测试参数包括加速电压5-30千伏，放大倍数从几十倍到几十万倍可调。环境电镜能在常压下观察生物样品，无需复杂制样过程。

扫描电镜测试结果受多种因素影响。样品表面污染会降低图像质量，测试前需清洁样品。电子束照射可能导致样品损伤，特别是有机材料。测试温度控制很重要，高温环境会影响电子枪稳定性。图像采集时间需合理设置，过短导致信噪比低，过长可能引起样品漂移。三维重构技术可获取样品表面形貌数据，分辨率可达纳米级别。背散射电子成像能区分不同成分相，原子序数越高衬度越大。