高纯多晶硅的制备工艺流程

高纯多晶硅的制备流程分为几个关键步骤。原料冶金级硅经过破碎、筛分预处理后，与盐酸反应生成三氯氢硅。三氯氢硅通过精馏塔进行多次提纯，纯度可达99.9999%。提纯后的三氯氢硅在还原炉中，通过氢气还原沉积在细长的硅芯上，形成棒状多晶硅。整个过程中温度控制精确在1100摄氏度左右，反应压力维持在3-5个大气压，确保硅原子均匀沉积。

多晶硅棒冷却后进入破碎和酸洗环节，去除表面杂质。酸洗液包含氢氟酸和硝酸的混合物，能有效去除金属离子。破碎后的硅块通过浮选法进一步分离不同密度的杂质。最终产品经过X射线荧光光谱仪检测，确认纯度达标后包装入库。现代工厂采用全自动控制系统，全程监控200多个工艺参数，确保批次间产品质量一致性。