时间:09-17人气:11作者:维持关系
射流真空泵利用高速流体喷射产生真空,常见类型有水蒸气、空气和油射泵。水蒸气射泵通过锅炉产生的高压蒸汽喷嘴高速喷射,带动气体分子流动,形成真空。空气射泵使用压缩空气作为工作介质,喷嘴处气流速度可达音速以上,压力骤降产生真空。工业应用中,真空镀膜设备依赖射泵维持10^-3 Pa真空度,实验室样品干燥使用射泵去除水分,医疗设备灭菌过程也采用射泵创造无氧环境。
射流真空泵结构简单,无机械运动部件,维护成本低。小型射泵直径仅5厘米,每小时可处理10立方米气体;大型工业射泵直径达1米,处理能力超过1000立方米/小时。半导体制造中,射泵配合分子泵实现10^-8 Pa超高真空;食品包装行业,射泵抽除包装内氧气延长保质期;航天模拟舱使用射泵模拟太空环境,测试设备在真空条件下的性能表现。
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