光栅的组成部分

光栅由刻线、基底和保护层三部分组成。刻线是核心部分，每毫米包含600到2400条精细刻痕，这些平行等距的凹槽形成衍射结构。基底多为玻璃或金属材质，提供机械支撑，厚度约2-3毫米。保护层覆盖在刻线上方，厚度约0.1毫米，防止划伤和氧化。精密的光栅制造需要控制刻线深度至10纳米级别，确保光学性能稳定可靠。

光栅系统还包括入射面和出射面两个关键界面。入射面设计有增透膜，减少反射损失，提高透光率至98%。出射面经过精密抛光，表面粗糙度控制在0.5纳米以下。光栅边缘设有倒角处理，宽度约0.2毫米，避免应力集中。现代光栅还集成了温度补偿装置，可在-20℃到80℃范围内保持光学性能稳定，确保测量精度达到0.001毫米级别。