荷兰光刻机多少纳米可以买

荷兰光刻机的购买取决于具体型号和需求。ASML的NXT系列1980Di可生产7纳米芯片，售价约1.5亿欧元；EUV系统则能制造3纳米以下工艺，价格高达2亿欧元以上。中端如H系列适用于成熟工艺，价格在4000万至8000万欧元之间。入门级如1980i支持14纳米节点，价格约3000万欧元。购买需考虑技术出口限制，中国客户需获得荷兰政府许可。

光刻机维护成本高昂，每年约占设备价格的10%-15%。1980Di的维护费用约1500万欧元/年，EUV系统则需2500万以上。操作培训需3-6个月，专业工程师年薪约20万欧元。客户需建立配套洁净室，建设成本约500-1000万欧元。备件库存需预留设备价值的20%，约300-600万欧元。购买后需与ASML签订5-10年的服务协议，确保技术支持。