一台光刻机寿命是多久

光刻机寿命一般在15到20年之间，具体取决于使用频率和维护情况。高端EUV光刻机每天运行24小时，每年能处理超过1000片晶圆，持续工作10年后性能开始下降。中等深紫外光刻机(DUV)使用寿命稍长，可达20年，但需要定期更换关键部件，如光源系统和光学透镜。这些设备运行环境要求极高，温度波动需控制在0.1摄氏度以内，任何微小误差都会影响使用寿命。

光刻机实际工作寿命受多种因素影响。洁净等级达到Class 1的环境下，设备核心部件可稳定运行15年。光源更换周期约5年，每次更换成本高达数千万美元。精密光学镜片组每7年需要专业清洗，避免颗粒污染影响成像质量。半导体厂商普遍采用3班倒工作制，光刻机在满负荷运转下，8-10年后故障率明显上升，维修成本激增。