真空泵的种类适用范围

真空泵主要分为干式泵和油式泵两大类。干式泵包括爪式泵、螺杆泵和涡旋泵，适合半导体制造、医药包装等对洁净度要求高的行业。油式泵如旋片泵和滑阀泵，广泛应用于化工、冶金领域，处理含大量水蒸气的气体。爪式泵能达到10^-3 mbar真空度，螺杆泵处理能力可达1000 m³/h，涡旋泵噪音低于50分贝，满足不同工业场景需求。

真空泵按工作原理还分为机械泵、扩散泵和分子泵。机械泵结构简单，维护成本低，实验室常用作前级泵。扩散泵能获得10^-7 mbar高真空，用于质谱分析。分子泵抽速范围在50-5000 L/s，适合薄膜沉积和表面科学研究。罗茨泵作为中间泵，连接机械泵和高真空泵，解决大气压到10^-3 mbar的抽气问题，提高系统效率。