扩散泵可以抽到多少真空

扩散泵能达到的真空度一般在10^-5至10^-7帕斯卡范围内。高效率扩散泵配合冷阱技术，真空度可达10^-8帕斯卡。实验室常用扩散泵系统，抽速每秒数百升，能在30分钟内从大气压达到10^-4帕斯卡。工业用大型扩散泵，每小时处理气体量达数千升，极限真空可稳定保持在10^-6帕斯卡。真空镀膜设备中的扩散泵，配合分子泵前级，真空度经常维持在10^-7帕斯卡水平。

扩散泵性能受工作液类型影响显著，汞扩散泵极限真空约10^-3帕斯卡，而现代硅油扩散泵可达10^-8帕斯卡。泵体温度控制精确度±1℃，直接影响真空稳定性。清洁度高的真空系统，扩散泵可连续运行3个月无需维护，真空波动不超过10%。航天模拟设备中的特殊扩散泵，能在-30℃至80℃环境工作，真空度保持在10^-6帕斯卡。高真空实验室内，扩散泵与离子泵组合使用，真空度经常突破10^-9帕斯卡。