时间:09-16人气:22作者:作茧显孤独
一般真空泵能达到的真空度范围很广,从低真空到超高真空都有。机械旋转叶片泵可达到10^-2到10^-3毫巴范围,油密封旋片泵能达到10^-3到10^-4毫巴。分子泵工作在10^-8到10^-10毫巴范围,扩散泵能达到10^-7到10^-10毫巴。干式螺杆真空泵在10^-3到10^-2毫巴范围内工作,而低温泵可以达到10^-11毫巴甚至更低的极限真空度。
真空度高低取决于泵的类型和设计参数。单级水环泵能达到约30毫巴,多级设计可达到100毫巴。罗茨泵通常作为前级泵使用,与机械泵组合可达到10^-3毫巴。涡轮分子泵在高速旋转下工作,极限真空可达10^-10毫巴。离子泵利用电离原理,在10^-9到10^-11毫巴范围内工作。不同应用场景需要选择合适的真空泵类型以达到所需的真空度要求。
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