中国可以生产光刻机或光刻胶吗

中国已经具备生产光刻机的能力，上海微电子装备公司研发的SSA800/10W光刻机已能实现90纳米工艺节点。北方华创生产的28纳米光刻机已交付使用，中芯国际的N+1工艺也验证了国产光刻机的可行性。光刻胶领域，南大光电的ArF光刻胶通过客户验证，晶瑞股份的KrF光刻胶实现批量供货。上海新阳的193nm光刻胶技术突破填补了国内空白，这些成果表明中国光刻产业链正逐步完善。

中国光刻机研发投入持续增加，2022年相关领域研发资金超过500亿元。合肥芯硕的EUV光刻技术取得突破，华为哈勃投资的东方晶源已开发出检测设备。中科院长春光机所的深紫外光刻系统实现量产，华卓精科的浸没式光刻技术达到国际先进水平。长江存储已使用国产设备生产64层NAND闪存，长江存储的128层闪存产线国产化率超过30%，这些成就证明中国光刻产业正快速追赶国际先进水平。