时间:09-17人气:19作者:一生孤妄
高纯氮气的湿度通常控制在极低水平,一般露点在-70℃以下,相当于水分含量低于1ppm。工业应用中,半导体制造要求氮气露点可达-75℃,水分含量控制在0.5ppm以下。实验室用高纯氮气湿度标准更严格,露点常维持在-80℃以下,水分含量低于0.1ppm。这些数值通过精密的干燥设备和持续监测系统实现,确保氮气纯度满足特定工艺需求。
高纯氮气的湿度受多种因素影响,包括生产方法、储存条件和输送系统。膜分离法制取的氮气湿度略高于深冷法,露点约在-60℃左右。不锈钢管道输送可维持低湿度,而橡胶管路会增加水分含量。长期储存时,钢瓶内氮气湿度会缓慢上升,3个月后露点可能从-70℃变为-65℃。定期检测和更换干燥剂能有效控制湿度,确保氮气质量稳定。
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