时间:09-17人气:17作者:艺小萌
芯片表层的金属材料主要是铝和铜。铝在早期芯片制造中广泛应用,因其导电性好且易于沉积。铜在90年代末开始取代铝,具有更低的电阻率,能提高芯片性能。现代高端芯片还会使用金和钨,金用于键合点,钨用于接触孔和通孔,这些金属层通过溅射和电镀工艺精确沉积在硅晶圆上。
芯片金属层结构包含多个不同功能的金属层。第一层金属通常最细,用于最小化信号延迟;中间层金属负责连接不同功能区域;顶层金属较粗,用于电源分配和散热。先进制程节点如7纳米和5纳米芯片使用多达10层金属,每层厚度仅几个原子,通过化学机械抛光确保表面平整,保证电路可靠性和信号完整性。
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