中国拥有光刻机的公司

中国目前能生产光刻机的企业主要有上海微电子装备(SMEE)、北方华创、中芯国际等公司。上海微电子已经研发出90纳米光刻机，并在努力攻克更先进制程。北方华创在浸没式光刻技术领域取得突破，其产品可用于28纳米制程芯片生产。中芯国际作为国内最大芯片制造商，也参与光刻机的研发与生产工作。这些企业在中国半导体产业链中扮演着关键角色，正在逐步缩小与国际先进水平的差距。

中国光刻机产业还得到国家大力支持，"十四五"规划明确将高端光刻机列为重点发展项目。合肥芯碁微电子专注于直写光刻技术，产品广泛应用于PCB制造领域。华卓精科专注于光刻机核心部件双工件台研发，技术达到国际先进水平。国家集成电路产业投资基金已向多家光刻机相关企业投入数百亿元资金，推动产业链协同创新，加速国产光刻机技术突破与应用落地。