中国28纳米光刻机是哪家公司

中国28纳米光刻机主要由上海微电子装备有限公司研发制造。这家企业成立于2002年，是国内光刻机领域的领军企业。上海微电子已经成功开发了90纳米、65纳米和28纳米光刻机产品线，其中28纳米光刻机采用了先进的浸没式技术，能够满足国内芯片制造企业的基本需求。该设备集成了超过10万个精密零件，实现了对晶圆的高精度曝光，填补了国内在这一技术领域的重要空白。

上海微电子的28纳米光刻机代表了国内光刻技术的最高水平，该设备已在国内多条芯片生产线上投入使用。光刻机作为芯片制造的核心设备，一台28纳米光刻机售价高达数千万美元，每台设备每天可处理数百片晶圆。上海微电子通过自主研发，突破了多项关键技术，包括光源系统、物镜系统和工件台系统等核心部件的国产化，使中国在光刻技术领域实现了从无到有的重大突破。