罗茨真空泵真空度是多少

罗茨真空泵能达到的真空度一般在10^-2到10^-3帕斯卡范围内。这种泵通过两个同步转子的连续运转排出气体，常用于真空镀膜、真空冶金和真空干燥等工业场景。实验室使用的罗茨泵配合前级泵可达到10^-4帕斯卡，半导体制造中使用的特殊型号甚至能达到10^-5帕斯卡。罗茨泵的真空度受转子间隙、密封材料和前级泵性能影响，温度升高会导致真空度下降。

罗茨真空泵的实际真空度取决于系统设计和应用需求。单级罗茨泵通常提供粗真空，多级组合能达到高真空。食品包装行业使用的罗茨泵维持在100-1000帕斯卡，足够防止氧化。制药行业要求10^-1帕斯卡真空度确保产品纯净。航天测试中，罗茨泵配合分子泵能达到10^-6帕斯卡超高真空。真空度测量使用热偶真空计和电离真空计，不同量程对应不同精度要求。