中国有光刻机企业吗

中国确实拥有光刻机企业，上海微电子装备有限公司是国内领先的光刻机制造商，已研发出90纳米光刻机。北京华创精电科技有限公司专注于深紫外光刻系统，产品覆盖365nm到248nm波长。中国科学院光电技术研究所也开发了光刻技术，其"光刻机光学系统"获得多项专利。这些企业在光刻机领域不断突破，逐步缩小与国际先进水平的差距。

中国光刻机产业链日益完善，无锡华晶、中芯国际等企业形成了完整配套体系。广东省的光刻机产业集群聚集了30多家相关企业，年产各类光刻设备超过500台。长江存储、长鑫存储等企业采用国产光刻设备进行芯片生产，验证了国产光刻机的可靠性。中国光刻机企业正通过技术创新和产业协作，不断提升产品性能和市场竞争力。