光刻机每小时能生产多少芯片

先进光刻机每小时能生产300-500片晶圆，具体产量取决于设备型号和工艺节点。7纳米制程的DUV光刻机每小时约产出350片，而EUV光刻机因复杂度每小时只能处理100-150片。晶圆尺寸也影响产量，300毫米晶圆比200毫米每小时多生产20-30片。光刻机实际产能还受曝光精度要求制约，高精度芯片需要更多时间完成单次曝光。

光刻机每小时产出芯片数量最终取决于下游工艺流程。晶圆光刻后需经历蚀刻、离子注入、薄膜沉积等20多道工序，整个生产周期需要2-3天。一条完整的生产线每小时能完成约1000片晶圆的加工，其中光刻环节占时15-20分钟。12英寸晶圆厂每月产能可达6-7万片，折合每小时约83-97片，光刻环节贡献其中约15-20片的最终芯片产出。