碳化硅外延设备的企业

碳化硅外延设备企业主要分布在日本、美国和中国。日本企业如NuFlare提供高精度设备，美国企业Lam Research拥有先进技术，中国企业在近年快速发展，如北方华创、中微公司等。这些设备需要超高精度控制，温度误差需控制在1摄氏度以内，厚度精度达纳米级。市场数据显示，全球碳化硅外延设备市场规模在2022年达到25亿美元，预计2025年将突破40亿美元。

碳化硅外延设备企业面临技术壁垒高、研发投入大的挑战。一台高端设备价格可达数千万人民币，研发周期往往超过3年。中国企业在国产替代方面取得突破，部分设备性能已达到国际水平。行业数据显示，单台设备产能每年可处理数百片晶圆，满足新能源汽车、光伏等领域快速增长的需求。随着5G和人工智能发展，这类设备市场前景广阔。