一台光刻机一个月能生产多少芯片

一台高端光刻机一个月能生产约1万到2万片晶圆，具体产量取决于设备类型和工艺节点。7纳米制程的光刻机每小时能产出约30片晶圆，按24小时工作计算，一天就是720片。晶圆尺寸也很关键，300毫米晶圆比200毫米能多生产2.5倍芯片。实际生产中，设备维护和工艺调整会影响产量，平均下来每月大约能生产1.5万片晶圆。这些晶圆经过切割后，可产出数百万个芯片，具体数量取决于每个晶圆能切割多少个芯片。

光刻机的月产量还受工艺复杂度影响。5纳米以下制程的光刻机产量会降低30%到50%，因为需要更多曝光步骤。一台EUV光刻机一天能处理50到100片晶圆，月产量约1500到3000片。晶圆厂通常会配置多台光刻机并行工作，一条先进生产线可能拥有10到20台光刻机，月总产能可达15万到30万片晶圆。这些晶圆经过后续工艺处理后，能制造数十亿个芯片，满足全球电子产品需求。