真空镀膜系统制作方法

真空镀膜系统制作需要真空室、真空泵和蒸发源三大部分。真空室采用不锈钢材质，厚度控制在3-5毫米，确保密封性。机械泵和分子泵组合使用，真空度能达到10^-5帕。蒸发源可选择电子束或电阻加热，电子束蒸发功率3-5千瓦，电阻加热则需2-3千瓦。系统需配备高真空计和膜厚监控仪，前者测量真空度，后者控制膜层厚度。冷却水管路环绕真空室，防止设备过热。

控制系统采用PLC编程，实现真空度自动调节。电源模块提供稳定电流，蒸发源温度波动控制在±2℃以内。工件架转速每分钟5-10转，保证膜层均匀性。真空室观察窗采用双层石英玻璃，既耐高温又方便观察。真空密封采用氟橡胶O型圈，使用寿命可达2年以上。整个系统组装完成后，需进行24小时连续测试，确保各部件工作正常。