光刻机用了哪几种材料制造

光刻机使用多种精密材料制造。光学系统依赖石英玻璃和氟化钙晶体，确保光线纯净传输。精密机械部件采用铝合金和殷钢，减少热胀冷缩影响。承片台使用碳化硅材料，提供超高平整度。真空系统由不锈钢和钛合金构成，保证密封性。光路反射镜镀有多层氟化镁和二氧化硅薄膜，提高反射效率。这些材料共同确保光刻机在纳米级精度下稳定运行。

光刻机核心组件需要特殊材料支撑。光源系统使用掺钇铝石榴石晶体和氟化钡透镜，产生稳定紫外光。物镜镜头由超低膨胀玻璃制成，抵抗温度变化。工件台采用陶瓷复合材料，减少振动干扰。冷却系统使用铜合金管道，快速带走热量。光刻胶涂覆层由高分子聚合物材料构成，确保图案精确转移。这些材料组合使光刻机能完成7纳米以下芯片的制造工艺。