真空泵一般压力是多少

时间:09-17人气:23作者:琼华欺霜

真空泵的工作压力范围差异很大,微型实验室泵能达到0.01帕斯卡,工业用真空泵可低至10⁻⁸帕斯卡。常见的水环式真空泵工作在33-101千帕之间,油封旋片泵能达到10⁻³帕斯卡,分子泵则能达到10⁻⁸帕斯量级。不同应用场景需要不同压力等级,食品包装常用500-1000帕斯卡,而半导体制造需要超高真空环境。

真空泵的压力值取决于泵的类型和设计。干式螺杆真空泵工作范围在10-100帕斯卡,扩散泵能达到10⁻⁶帕斯卡,低温泵可达到10⁻¹¹帕斯卡。医疗设备如CT扫描仪使用的真空泵工作在0.1-1帕斯卡,航天真空环境测试需要10⁻⁷帕斯卡级别。真空镀膜设备通常要求10⁻⁴帕斯卡的工作压力。

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