真空泵最低可以达到多少

真空泵极限真空度差异大，分子泵能达到10^-9 Pa量级，干式泵可达10^-3 Pa，水环泵约10 Pa，机械泵一般在10^-1 Pa。实验室用涡轮分子泵组合离子泵可进入10^-10 Pa超高真空，太空模拟舱需要10^-12 Pa级别。半导体制造中，分子泵配合冷泵能达到10^-7 Pa，确保芯片生产环境纯净度。

真空泵实际工作受多种因素影响，室温下分子泵极限真空度比低温环境高1-2个数量级。工业应用中，真空镀膜设备要求10^-4 Pa，而质谱分析需要10^-6 Pa。极端环境如粒子加速器需要10^-11 Pa超高真空，防止气体分子干扰粒子束流。真空系统密封性能直接影响极限真空度，微小泄漏会导致真空度下降2-3个数量级。