时间:09-16人气:20作者:清茶友人
半导体生产先通过硅提纯制成高纯度单晶硅锭,经切割打磨成晶圆。光刻技术将电路图案转移到晶圆上,蚀刻去除多余材料形成电路结构。离子注入改变硅的导电特性,沉积工艺添加绝缘层和导电层。每层光刻蚀刻后进行清洗检测,确保缺陷率低于百万分之5。
半导体制造需要数百道精密工序,晶圆厂环境控制达到10级洁净标准。光刻机精度达纳米级别,单次曝光成本超过10万美元。晶圆圆度偏差需小于0.1毫米,厚度均匀性控制在2微米内。一块300毫米晶圆可容纳数千个芯片,良品率决定最终成本。先进工艺节点已突破3纳米,相当于头发丝直径的万分之一。
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