真空泵能达到多少真空压力

真空泵能实现的真空压力范围差异很大，从大气压(101.3kPa)到超高真空(10^-12 Pa)不等。机械泵通常能达到10^-2 Pa级别，分子泵可达到10^-7 Pa，而低温泵在理想条件下可突破10^-11 Pa极限。工业应用中，实验室常用旋片泵维持10^-1 Pa环境，半导体制造需要分子泵达到10^-6 Pa洁净度，航天器测试则依赖钛升华泵实现10^-8 Pa超高真空。

真空压力极限取决于泵类型和系统设计。单级油封泵极限约10 Pa，多级串联系统可达10^-3 Pa。涡轮分子泵配合干式前级泵能稳定在10^-5 Pa范围。特殊设计的离子泵在无油环境中可维持10^-8 Pa真空度。高能物理实验装置如大型强子对撞机内部真空压力低至10^-10 Pa，接近宇宙空间的真空水平。