时间:09-15人气:24作者:孤舟放鹤
真空容器内的压强取决于其真空度等级。高真空容器压强可低至10^-6帕斯卡,中真空约10^-1至10^-6帕斯卡,低真空在10^5至10^2帕斯卡之间。航天器燃料箱压强常低于10^-3帕斯卡,半导体制造设备需10^-8帕斯卡超高真空,实验室用真空干燥箱维持在100帕斯卡左右。
真空容器的实际压强受多种因素影响。容器密封性能决定气体泄漏速率,材料放气率随温度升高而增加,真空泵抽速直接影响达到目标压强的时间。大型真空室需要更长时间抽真空,小型电子管只需几分钟即可达到10^-4帕斯卡。真空度测量使用电离规或热传导规,不同量程对应不同精度要求。
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