单晶硅棒及硅片是什么意思

时间:09-17人气:18作者:月色染红颜

单晶硅棒是由高纯度硅材料通过直拉法或区熔法制成的圆柱形棒状物,直径可达300毫米,长度超过2米。这种硅棒内部原子排列完全一致,形成单一晶体结构,是制造高端芯片的基础材料。单晶硅棒经过切割、研磨、抛光等工艺处理后,可制成厚度不足1毫米的圆形硅片,表面平整度达到纳米级。这些硅片是集成电路的载体,上面会蚀刻数亿个晶体管,构成现代电子设备的核心部件。

单晶硅片根据导电类型分为P型和N型,前者掺硼元素,后者掺磷元素。硅片表面会形成氧化层、氮化硅等薄膜,用于制造晶体管的栅极和绝缘层。硅片背面有金属化层,便于电路连接。不同尺寸的硅片(200毫米、300毫米)对应不同的制程节点,12英寸硅片可制造更复杂的芯片。硅片质量直接影响芯片性能,缺陷密度需控制在每平方厘米0.5个以下。

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