真空泵最大能抽到多少真空呢

时间:09-15人气:29作者:骑猪总裁

真空泵能抽取的极限真空度取决于泵的类型和设计。机械泵一般能达到10^-2至10^-3帕斯卡,分子泵可达10^-8帕斯卡,扩散泵能达到10^-10帕斯卡,而低温泵可以达到10^-12帕斯卡。实际应用中,系统泄漏和材料放气会影响最终真空度。半导体制造需要超高真空环境,航天器测试要求10^-7帕斯卡以下,粒子加速器甚至需要10^-12帕斯卡的极端真空。

真空系统的极限还受温度影响。25°C时,水的饱和蒸气压为3170帕斯卡,而液氮温度下降至10帕斯卡以下。真空室材料选择很关键,不锈钢放气率约10^-12帕斯卡·升/秒,铝合金约为10^-11帕斯卡·升/秒。真空计测量范围不同,热偶真空计覆盖10^1至10^-1帕斯卡,电离真空计可达10^-8帕斯卡。航天器在轨运行时,外部真空接近10^-12帕斯卡,接近宇宙空间的真空水平。

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