石英舟是什么

石英舟是一种由高纯度石英材料制成的容器，广泛应用于半导体制造和实验室环境中。这种舟状器具能承受高温环境，常用于扩散炉、氧化炉等设备中承载硅片或其他晶圆。石英舟具有优异的耐热性和化学稳定性，不会在高温下释放杂质，确保工艺过程的纯净度。其透明特性还允许操作人员观察内部反应情况，常见的尺寸有200毫米、300毫米等规格，适应不同尺寸的晶圆处理需求。

石英舟的制作工艺精密，需要经过高温成型和严格的质量检测。表面光滑无瑕疵的石英舟能减少对晶圆的刮伤风险，延长使用寿命。清洗石英舟需使用特定酸液，避免使用含氟化合物以防腐蚀。现代石英舟还设计了特殊的卡槽结构，确保晶圆在高温过程中保持稳定位置。石英舟的纯度等级分为电子级和光学级，前者用于半导体制造，后者更多用于光学实验领域。