时间:09-16人气:11作者:挽木琴
荷兰ASML公司是全球唯一能制造最先进极紫外光刻机的国家。这台设备包含超过10万个零件,精度达到纳米级别,一台售价超过1.5亿欧元。ASML的光刻机使用德国蔡司镜头,美国光源技术,整合了全球多国顶尖科技。中国上海微电子已能制造90纳米光刻机,中芯国际使用这些设备生产芯片。日本尼康和佳能也能制造DUV光刻机,但技术不如ASML先进。
光刻机制造需要极高精度的工业基础。荷兰拥有百年光学历史,ASML每年投入研发资金20亿欧元以上。德国蔡司公司能制造精度误差小于1纳米的镜头。美国应用材料提供关键光源技术。台湾地区在半导体设备领域也有一定实力,但无法独立制造高端光刻机。全球光刻机制造呈现高度集中化趋势,短期内难以有其他国家突破这一技术壁垒。
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