euv是什么意思

EUV代表极紫外光刻技术，是半导体制造中的尖端工艺。这项技术使用13.5纳米波长的光来刻制芯片电路，比之前的深紫外光技术精细得多。台积电、三星和英特尔等芯片制造商都采用EUV技术生产7纳米及以下先进制程的芯片。一台EUV光刻机售价超过1.5亿美元，包含超过10万个零件，精度达到原子级别。这项技术让智能手机、电脑和服务器中的芯片变得更小、更快、更节能。

EUV光刻过程需要在真空中进行，因为空气会吸收极紫外光。光源由激光激发锡珠产生，每秒发射5万个脉冲，每次脉冲释放的能量足以点亮一个100瓦灯泡。光经过精密反射镜系统聚焦，在硅片上绘制出数十亿个晶体管。台积电的5纳米工艺使用了超过15层EUV光刻步骤，而3纳米工艺预计将使用超过20层。这项技术代表了人类在微观制造领域的最高成就，推动了整个电子产业的发展。