真空泵可以达到多少真空度

真空泵能实现的真空度因类型不同而有很大差异。机械泵通常能达到10^-2到10^-3帕斯卡，分子泵可达10^-8帕斯卡，扩散泵能实现10^-9帕斯卡，而低温泵可以达到10^-11帕斯卡甚至更低。实际应用中，真空系统会结合多种泵类，如涡轮分子泵与干泵组合，可达到超高真空环境。半导体制造需要10^-9帕斯卡级别，而空间模拟舱要求10^-10帕斯卡以下。

真空度还受系统密封性和材料放气影响。不锈钢系统比铝合金系统更能维持高真空，焊接连接比法兰密封效果更好。室温下材料表面会释放吸附气体，烘烤系统至150°C可将真空度提升1-2个数量级。航天器测试舱使用离子泵和钛升华泵组合，可长期维持10^-8帕斯卡真空度，满足极端环境模拟需求。