中国没有光刻机技术吗

中国确实拥有光刻机技术，但高端领域仍有差距。上海微电子已交付90纳米光刻机，中芯国际28纳米工艺成熟运行。华为哈勃投资了多家光刻相关企业，包括南大光电的光刻胶公司。国家集成电路基金投入3000亿元支持半导体产业链。华卓精科的光刻机双工件台技术突破，中科院微电子所研发的193纳米光刻机取得进展。这些成就证明中国光刻机产业正在快速发展。

中国光刻机产业链完整度提升，北方华创的刻蚀机已达国际先进水平。北京科益虹源的光源技术填补国内空白，启尔机电的浸没式系统实现国产化。武汉精测的检测设备、华海清科的抛光机已进入生产线。长江存储用国产设备生产64层3D NAND闪存，长鑫存储实现DRAM芯片量产。中国光刻机技术正从零部件到整机系统逐步突破，形成自主可控的半导体装备体系。