真空镀膜机有哪几个系统组成

真空镀膜机主要由真空系统、蒸发系统和控制系统三大部分组成。真空系统包括机械泵、分子泵和真空室，能在短时间内将室内气压降至10^-5帕以下。蒸发系统配备蒸发源、坩埚和加热装置，材料可在2000℃高温下气化。控制系统通过触摸屏操作，可精确调节温度、真空度和镀膜时间，确保工艺参数稳定。

镀膜机还包含冷却系统、电源系统和监测系统。冷却系统使用水冷方式，防止设备过热，延长使用寿命。电源系统提供稳定的电力，支持不同功率需求。监测系统配备真空计、膜厚仪和温度传感器，实时显示各项数据，确保镀膜质量。这些系统协同工作，完成从材料准备到成品的完整流程。