时间:09-17人气:11作者:糖醋脚皮
全球范围内,具备光刻机生产能力的国家屈指可数。荷兰的ASML公司垄断了EUV极紫外光刻机市场,这种设备精度达到13纳米以下,台积电、三星和英特尔都依赖它生产先进芯片。日本佳能和尼康则专注于DUV深紫外光刻机,覆盖28纳米到7纳米制程,中芯国际等企业使用这类设备。美国应用材料公司提供光刻机的关键部件,如光源系统和光学镜头,这些组件对设备性能至关重要。中国上海微电子装备公司已研发出90纳米光刻机,正在向28纳米技术节点迈进。
光刻机制造需要多国技术协作。德国蔡司公司生产最先进的光学镜头,精度误差控制在原子级别,这些镜头直接决定光刻分辨率。韩国三星已能自主生产部分DUV光刻机部件,减少对外国供应商的依赖。新加坡的电子产业生态链完善,为光刻机制造提供精密加工和测试服务。以色列的Bito公司提供先进的光刻胶材料,直接影响芯片图案的清晰度。俄罗斯在极紫外光源领域有独特技术,虽然尚未形成完整光刻机产品,但相关研究成果被国际巨头采用。
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